[实用新型]气缸有效
| 申请号： | 200720071245.9 | 申请日： | 2007-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN201057265Y | 公开（公告）日： | 2008-05-07 |
| 发明（设计）人： | 桂鹏;丁备林;庞明磊;成亮 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | F16J10/00 | 分类号： | F16J10/00;C30B25/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种气缸，包括气缸上的排气孔，在所述气缸的排气孔上罩有释放排气孔所排出气体且阻挡油滴排出的滤油装置。所述滤油装置可以是具有通孔的金属外框，并且有一滤油层覆盖金属外框通孔，所述滤油装置还可以是覆盖于排气孔表面的滤油层。所述滤油层的大小大于或等于排气孔的大小。所述滤油层可以是油毡或无尘过滤纸。本实用新型气缸通过罩于排气孔上的滤油装置，防止油滴随放出气体排出而溅落到晶圆上，对晶圆质量产生损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 气缸 | ||
【主权项】：
1.一种气缸，包括气缸上的排气孔，其特征在于，在所述气缸的排气孔上罩有释放排气孔所排出气体且阻挡油滴排出的滤油装置。
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