[实用新型]一种可避免因抽风不畅而宕机的氧化炉有效
| 申请号： | 200720071431.2 | 申请日： | 2007-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN201081534Y | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 张卫民;黎健;宋大伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | F27B5/04 | 分类号： | F27B5/04;F27B5/06;F27B17/00;H01L21/00;H01L21/316 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种可避免因抽风不畅而宕机的氧化炉。现有的氧化炉中的防污惰气和反应气体共用一抽风装置从而出现抽风不畅而宕机的现象。本实用新型的可避免因抽风不畅而宕机的氧化炉，其包括氧化管架、设置在氧化管架中的氧化管和设置在氧化管与氧化管架间的金属加热单元，该氧化管用于通入反应气体进行氧化，该氧化管架与该氧化管间通有用于防止金属污染的防污惰气，该氧化炉对应该反应气体设置一第一抽风装置，该氧化炉还对应该防污惰气设置一第二抽风装置。采用本实用新型的氧化炉可避免氧化炉因抽风不畅而出现的宕机。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 避免 抽风 不畅 氧化 | ||
【主权项】：
1.一种可避免因抽风不畅而宕机的氧化炉，该氧化炉包括氧化管架、设置在氧化管架中的氧化管和设置在氧化管与氧化管架间的金属加热单元，该氧化管用于通入反应气体进行氧化，该氧化管架与该氧化管间通有用于防止金属污染的防污惰气，该氧化炉对应该反应气体设置一第一抽风装置，其特征在于，该氧化炉还对应该防污惰气设置一第二抽风装置。
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