[实用新型]一种排气流量自动控制和监测装置有效
| 申请号： | 200720071748.6 | 申请日： | 2007-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN201097105Y | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 李勇刚 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/26;G03F7/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种排气流量自动控制和监测装置，至少包括排气流量传感器、电路控制模块、执行元件模块和排气调节阀，排气流量传感器与涂胶显影轨道机器的排气管道支路相连；电路控制模块分别与排气流量传感器、执行元件模块相连；排气调节阀置于排气管道支路中；排气管道支路与工厂的排气主系统相连。本实用新型的装置能有效地监测并实时调节涂胶显影轨道机器的排气管道的流量，从而减少报警次数，避免晶圆的返工处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 排气 流量 自动控制 监测 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种排气流量自动控制和监测装置，其特征在于，至少包括排气流量传感器、电路控制模块、执行元件模块和排气调节阀，排气流量传感器与涂胶显影轨道机器的排气管道支路相连；电路控制模块分别与排气流量传感器、执行元件模块相连；排气调节阀置于排气管道支路中；排气管道支路与工厂的排气主系统相连。
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