[实用新型]一种具关闭不严提示功能的换向装置

摘要

本实用新型提供了一种具关闭不严提示功能的换向装置。现有技术中反应气体进/出气管道上仅设置有一换向阀以控制反应气体进/出反应腔，当换向阀关闭不严时会影响产品质量且造成严重损失。本实用新型的具关闭不严提示功能的换向装置，设置在具有反应腔的化学气相沉积设备的反应气体进/出气管道上，其包括一连接在进/出气管道上且用于控制反应气体进/出反应腔的换向阀、一串联连接在换向阀上的一气压表、一用于依据气压表的示值及换向阀的状态判断换向阀是否关闭不严的判断模块和一用于在判断模块判断出换向阀关闭不严时启动以提示使用者的提示模块。本实用新型可实时检测出换向阀的关闭不严并发出提示，避免了因此所造成的损失。

主权项

1.一种具关闭不严提示功能的换向装置，其设置在一具有反应腔的化学气相沉积设备的反应气体进/出气管道上，所述换向装置包括一连接在进/出气管道上且用于控制反应气体进/出反应腔的换向阀，其特征在于，所述换向装置还包括串联连接在换向阀上的一气压表、一用于依据气压表的示值以及换向阀的状态判断换向阀是否关闭不严的判断模块和一用于在判断模块判断出换向阀关闭不严时启动以提示使用者的提示模块。