[实用新型]一种晶圆正面污染物的检测样品制备治具

摘要

本实用新型提供了一种晶圆正面污染物的检测样品制备治具。现有技术在制备检测样品时将晶圆放置在晶圆盒中且用吸管向其正面滴制样溶液且转移反应后的溶液存在着操作不便的问题。本实用新型的治具包括放置晶圆的本体、罩设在本体上的罩体和设置在罩体顶部用于供制样者向晶圆正面喷洒制样溶液或水的进样喷头，该本体为与锥线分别成直角和预设锐角的第一和第二平面截倒立椎面所得，该第一和第二平面在倒立锥面上形成了第一和第二截圆，该第二截圆为直接与操作台接触的椭圆且其低于第一截圆，该晶圆的直径介于第二截圆的短轴和第一截圆的直径间，该本体在放置晶圆且距操作台最近的位置上设置有供制样溶液流出本体的开口。本实用新型可使制样便利精准且安全。

主权项

1、一种晶圆正面污染物的检测样品制备治具，该晶圆边缘具有一预设角度范围的导角，其特征在于，该治具包括一放置晶圆的本体、一罩设在本体顶部的罩体和一设置在罩体顶部用于供制样者向晶圆正面喷洒制样溶液或水的进样喷头，该本体为第一和第二平面截一倒立椎面所得，该锥面的锥角等于晶圆的导角，该第一和第二平面与锥线所成的角分别为一直角和一预设锐角，该第一和第二平面在倒立锥面上形成了第一截圆和第二截圆，该第二截圆为直接与操作台接触的椭圆且其低于第一截圆，该晶圆的直径大于第二截圆的短轴且小于第一截圆的直径，该本体在放置晶圆且距操作台最近的位置上设置有一供溶液从晶圆边缘流出本体的开口。