[实用新型]大口径钕玻璃表面疵病的激光散射检测装置无效
| 申请号： | 200720074556.0 | 申请日： | 2007-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN201110835Y | 公开（公告）日： | 2008-09-03 |
| 发明（设计）人： | 程兆谷;覃兆宇;张志平;黄惠杰;钱红斌;朱健强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种大口径钕玻璃表面疵病的激光散射检测装置，包括置放待测光学元件的X－Y精密步进平台；在所述X－Y精密步进平台的法线方向和待测光学元件的上方，自下而上同光轴地依次设置第二平面反射镜、散射光收集光阑、散射光收集物镜、光纤组收集器，该光纤组收集器所收集的多路散射光信号经光纤组引入光电探测器阵列转化为多路电信号；一激光器，沿该激光器发出的激光束的方向同光轴地依次设置法拉第隔离器、扩束透镜、准直透镜、聚焦透镜、分光镜和第一平面反射镜，一台计算机，所述的光电探测器阵列收集的散射光信号转化为多路电信号，经过整形滤波后由高速数据采集卡输入该计算机；该计算机通过步进马达驱动X－Y精密步进平台运动。 | ||
| 搜索关键词： | 口径 玻璃 表面 激光 散射 检测 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种大口径钕玻璃表面疵病的激光散射检测装置，其特征在于包括：一供置放待测光学元件(9)的X-Y精密步进平台(12)；在所述X-Y精密步进平台(12)的法线方向和待测光学元件(9)的上方，自下而上同光轴地依次设置第二平面反射镜(8)、散射光收集光阑(14)、散射光收集物镜(15)、光纤组收集器(16)，该光纤组收集器(16)位于所述的散射光收集物镜(15)的后焦面，该光纤组收集器(16)所收集的多路散射光信号经光纤组(17)引入光电探测器阵列(19)转化为多路电信号，所述的第二平面反射镜(8)与所述的法线方向呈45°；一激光器(1)，沿该激光器(1)发出的激光束的方向同光轴地依次设置法拉第隔离器(2)、扩束透镜(3)、准直透镜(4)、聚焦透镜(5)、分光镜(6)和第一平面反射镜(7)，所述的分光镜(6)的分光面与所述的激光束成45°，所述的激光束被所述的分光镜(6)分成反射光束和透射光束，该透射光束经第一平面反射镜(7)反射后倾斜地聚焦在所述的待测光学元件(9)的平面表面上，该反射光束经第二平面反射镜(8)反射后垂直地聚焦在所述的待测光学元件(9)的平面表面上，该两照射光束在所述的待测光学元件(9)的平面表面上共焦斑；一台计算机(17)，所述的光电探测器阵列(19)收集的散射光信号转化为多路电信号，经过整形滤波后由高速数据采集卡(20)输入该计算机(18)；该计算机(18)的控制端接驱动模块(11)，该驱动模块(11)在该计算机(18)的控制下通过步进马达(10)驱动所述的X-Y精密步进平台(12)运动。
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