[实用新型]一种刷子间距调节工具有效
| 申请号： | 200720075308.8 | 申请日： | 2007-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN201140189Y | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 陈肖科 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;B08B3/04;B08B1/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种刷子间距调节工具，其用于调节清洗装置中两个刷子之间的间距，清洗装置可以控制两个刷子闭合和打开，晶圆置于两个刷子的中间；两个刷子均有液体流出端和液体流入端；其中，刷子间距调节工具包括一个干端调节工具和一个湿端调节工具，分别用于测量两个刷子的液体流出端之间的间距和液体流入端之间的间距；其中干端调节工具和湿端调节工具均设有一个测量部，干端调节工具的测量部的宽度等于两个刷子液体流出端之间的理想间距，湿端调节工具的测量部的宽度等于两个刷子液体流入端之间的理想间距。本实用新型可以有效避免每次清洗晶圆之前，由于操作人员视觉误差，造成的两个刷子之间的间距不够精确的缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刷子 间距 调节 工具 | ||
【主权项】：
1、一种刷子间距调节工具，其用于调节清洗装置中两个刷子之间的间距，清洗装置可以控制两个刷子闭合和打开，晶圆置于两个刷子的中间；两个刷子均有液体流出端和液体流入端；其特征在于，刷子间距调节工具包括一个干端调节工具和一个湿端调节工具，分别用于测量两个刷子的液体流出端之间的间距和液体流入端之间的间距；其中干端调节工具和湿端调节工具均设有一个测量部，干端调节工具的测量部的宽度等于两个刷子液体流出端之间的理想间距，湿端调节工具的测量部的宽度等于两个刷子液体流入端之间的理想间距；所述液体流出端之间的理想间距是在确保两个刷子恰好接触时，两个刷子的液体流出端之间的间距；所述液体流入端之间的理想间距是在确保两个刷子恰好接触时，两个刷子的液体流入端之间的间距。
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