[实用新型]靶面焦斑监测装置

摘要

一种用于激光打靶的靶面焦斑监测装置，包括平行激光束发射光路、靶面成像光路、光轴对接系统和图像接收系统。所述的平行激光束发射光路用来发射模拟光束，靶面成像光路接收靶面焦斑发出的散射光从而对靶面成像，光轴对接系统实现本实用新型靶面焦斑监测装置的光轴和打靶光束的光轴的对接，图像接收系统用来接收靶面成像光路所成的靶面像并在监视器上显示出来，通过计算CCD摄像机接收到的靶面焦斑图像尺寸，可以精确测定靶面焦斑的实际尺寸。本实用新型装置既能够提供与实际打靶激光束口径相同的平行激光束，同时又可以以较高的放大倍率对靶点进行监测，以提高靶镜的调整精度，从而提高激光打靶的效率。

主权项

1一种用于激光打靶的靶面焦斑监测装置，其特征在于包括：平行激光束发射光路，包括激光光源(1)及沿该激光光源(1)的出射光方向依次的反射镜(4)、聚焦镜(5)、分光棱镜(6)和主物镜(7)构成，所述的聚焦镜(5)的焦点位于主物镜(7)的焦面上；靶面成像光路，由依次的主物镜(7)、分光棱镜(6)、由初级显微物镜(9)和次级变倍显微物镜(10)组成，所述的主物镜(7)的焦点位于初级显微物镜(9)的物面上，初级显微物镜(9)的像平面与次级变倍显微物镜(10)的物面重合；所述的平行激光束发射光路与靶面成像光路通过所述的分光棱镜(6)实现共光路；光轴对接系统(8)，由第一反射镜(801)和第二反射镜(802)组成，所述的第一反射镜(801)和第二反射镜(802)都具有沿光轴移动、作俯仰与旋转运动的调节机构；图像接收系统，包括CCD摄像机(11)和监视器(12)，所述的CCD摄像机(11)位于所述的次级变倍显微物镜(10)的像平面，所述的CCD摄像机(11)的输出与所述的监视器(12)相连。