[实用新型]多晶硅氢还原炉测温视镜结构有效
| 申请号： | 200720081582.6 | 申请日： | 2007-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN201105994Y | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 戴自忠 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/023 | 分类号： | C01B33/023;C01B33/03;C30B35/00;F27B5/04;F27B5/18 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所 | 代理人： | 方强 |
| 地址： | 614800四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种多晶硅氢还原炉测温视镜结构，包括视镜玻璃和通入还原炉内壁的内空式镜筒，视镜玻璃安装在位于还原炉炉壁之外的镜筒上，镜筒筒壁在靠近视镜玻璃的位置设有水冷结构，所述视镜玻璃为单层玻璃结构，视镜玻璃内表面侧的镜筒筒壁上设有两端分别与镜筒外的进气管和镜筒内通道相通的气体通道。本实用新型有效解决了由于水冷而污染视镜玻璃和形成硅附着物的问题，并且结构简单，保证了视镜在生产中不被污染。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 测温 结构 | ||
【主权项】：
1、多晶硅氢还原炉测温视镜结构，包括视镜玻璃(14)和通入还原炉内壁的内空式镜筒(10)，视镜玻璃(14)安装在位于还原炉炉壁之外的镜筒(10)上，镜筒(10)的筒壁在靠近视镜玻璃(14)的位置设有水冷结构(17)，其特征在于：所述视镜玻璃(14)为单层玻璃结构，视镜玻璃(14)内表面侧的镜筒(10)的筒壁上设有两端分别与镜筒(10)外的进气管(11)和镜筒(10)的内通道(15)相通的气体通道(13)。
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