[实用新型]一种基于光纤干涉原理的纳米测量机测头

摘要

本实用新型涉及基于光纤干涉原理的纳米测量机测头，该测头包括接触模式的悬臂梁探针，探针夹持器，基于光纤和分束镜的斐索干涉仪。该系统作为纳米测量机的传感器，感测样品表面的形貌，该系统还可以实现纳米测量机大范围扫描的定位作用，并可将位移信号传输给纳米测量机。本实用新型与现有其他测头的不同之处在于选用光纤传光从而简化干涉仪的结构；特有的探针夹持器，可以使用实验室现有的探针；放大电路中选用了美信新出产的放大芯片，专门用于放大光电二极管输出的电流，并将其转换为电压，提高了电路的性能。在光电转换中使用了提供的光纤干涉原理的纳米测量机测头用于研究不同样品的纳米测量机的扫描。具有扫描范围大、精度高等特点。

主权项

1.一种基于光纤干涉原理的纳米测量机测头，包括压电扫描管、探针夹持器、悬臂梁探针、由分束镜和光纤构成的斐索干涉仪及后续处理电路，其特征在于，探针夹持器固定在压电扫描管的底端，其上设置有弹簧夹、凹槽、螺纹孔和窗口，探针置于凹槽内，弹簧夹的一端通过螺纹孔固定在探针夹持器上，另一端夹持探针，分束镜固定在窗口上，光纤、分束镜、探针表面依次设在在一条光路，激光光源发射的激光经过光纤传输、打在分束镜后，分为反射光束和透射光束，透射光束打在微悬臂梁背面的反射表面上后反射的光束经过分束镜后与先前的反射光束相干涉，干涉信号经过光纤输出，经光电二极管转换后进入后续处理电路。