[实用新型]晶圆凸点制造挂具有效
| 申请号： | 200720102413.6 | 申请日： | 2007-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN201116311Y | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 欧萌;景璀;张蕾;魏红军;杨振 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二研究所 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12;C25D17/08 |
| 代理公司： | 山西科贝律师事务所 | 代理人： | 陈奇 |
| 地址： | 030024山*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶圆凸点制造挂具，安装在电镀槽边导电夹具上，用于晶圆凸点的生长和制造，解决了现有晶圆挂具结构复杂、成本高、对不同尺寸晶圆片更换不方便的问题。包括挂具主体板(10)，主体板(10)和把手(14)上固定设置有导电板(12)，主体板(10)设置有一圆形导电盘(8)，导电板(12)与导电盘(8)固定连接，在导电盘周围的主体板(10)上嵌套有螺纹套(9)，法兰(2)通过紧固塑料螺钉(1)和螺纹套(9)将晶圆片固定在主体板(10)上的导电盘(8)上，在法兰(2)的外圈与主体板(10)之间设置有密封圈(3)，在法兰的内圈与导电盘(8)之间设置有密封圈(4)。适合于各种晶圆片凸点的制造。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆凸点 制造 | ||
【主权项】：
1、一种晶圆凸点制造挂具，包括挂具主体板(10)、在主体板(10)的上方固定设置的把手(14)及把手上方的固定块(13)，其特征在于，在所述的主体板(10)和把手(14)上固定设置有导电板(12)，在挂具主体板(10)的前面板的中部固定设置有一圆形导电盘(8)，导电板(12)与导电盘(8)固定连接，在导电盘周围的主体板(10)上嵌套有金属罗纹套(9)，法兰(2)通过紧固塑料螺钉(1)和金属罗纹套(9)将晶圆片固定在挂具主体板(10)上的导电盘(8)上，在法兰(2)的外圈与主体板(10)之间设置有密封圈(3)，在法兰(2)的内圈与导电盘(8)之间设置有密封圈(4)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第二研究所，未经中国电子科技集团公司第二研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200720102413.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：偏光板离型膜撕除机构
- 下一篇：直剪仪的剪切容器
