[实用新型]三轴集成压阻式加速度传感器有效
| 申请号： | 200720102808.6 | 申请日： | 2007-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN201083760Y | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 杨拥军;徐淑静;何洪涛 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12;G01P15/18 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 | 代理人： | 张明月 |
| 地址： | 050051河*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种三轴集成压阻式加速度传感器，包括分别测量X、Y、Z三个方向加速度信号的硅MEMS压阻式加速度传感器，其中测量平面内X向和Y向加速度信号的两个硅MEMS压阻式加速度传感器都是包括硅框架、质量块、悬臂梁、压敏电阻、支撑梁的结构，它们在平面内垂直布置；第三个压阻式加速度传感器位于X向和Y向压阻式加速度传感器的一侧，用于测量Z方向的加速度信号。三个传感器的压敏电阻都分别设置在各自微结构的敏感梁的上表面。采用该结构可在一个芯片上采用相同的工艺同时制作出三个压阻加速度传感器，降低了加工难度。该传感器具有体积小、质量轻、可靠性高、成本低和易于集成的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 压阻式 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
1.三轴集成压阻式加速度传感器，包括三个相互独立的硅MEMS压阻式加速度传感器，其特征在于：测量X向和Y向加速度信号的两个硅MEMS加速度传感器的结构相同，它们都包括硅框架、质量块、扭转梁、敏感梁以及设置在敏感梁上表面的压敏电阻，质量块和硅框架之间通过支撑梁和敏感梁连接；上述两个硅MEMS压阻式加速度传感器在平面内垂直分布，第三个用于测量Z方向的加速度信号的压阻式加速度传感器的压敏电阻也设置在悬臂梁的上表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第十三研究所，未经中国电子科技集团公司第十三研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200720102808.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：大型电动机液态降压无功补偿软起动装置
- 下一篇：具有报警机构的气体预处理装置
