[实用新型]一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置无效
| 申请号： | 200720103516.4 | 申请日： | 2007-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN200999271Y | 公开（公告）日： | 2008-01-02 |
| 发明（设计）人： | 孙国胜;王雷;赵万顺;李家业;赵永梅;刘兴昉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10;C30B29/36 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置，包含一中央转动装置，该装置包括：一石墨托盘，为一盘状；一石墨支撑杆；一传动轴杆，上端与石墨支撑杆连接；一支撑管；一支撑件，上端与支撑管连接；一支撑座，与支撑件连接；一联轴器，其上端与传动轴杆插接连接；一中心调节器，为一筒状，两端具有法兰；一三通排气管，位于中央转动装置上的支撑座上，中央转动装置穿过该三通排气管的两端，该三通排气管通过法兰与中心调节器连接；一石英管反应生长室，石英管反应生长室罩扣于中央转动装置，并与三通排气管固定；一磁力旋转装置，位于中心调节器的下方，通过传动轴与中央转动装置的联轴器连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 外延 生长 加热器 旋转 装置 | ||
【主权项】：
1.一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置，其特征在于，其包含有：一中央转动装置，该中央转动装置包括：一石墨托盘，该石墨托盘为一盘状；一石墨支撑杆，该石墨支撑杆支撑于石墨托盘；一传动轴杆，该传动轴杆的上端与石墨支撑杆螺纹连接；一支撑管，该支撑管为中空状；一支撑件，该支撑件的上端与支撑管连接；一支撑座，该支撑座与支撑件连接；一联轴器，联轴器的上端与传动轴杆插接连接；一中心调节器，该中心调节器为一筒状，两端具有法兰；一三通排气管，该三通排气管位于中央转动装置上的支撑座上，该中央转动装置穿过该三通排气管的两端，该三通排气管通过法兰与中心调节器连接；一石英管反应生长室，该石英管反应生长室罩扣于中央转动装置，并与三通排气管固定；一磁力旋转装置，该磁力旋转装置位于中心调节器的下方，通过传动轴与中央转动装置的联轴器连接。
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