[实用新型]一种等离子发生器无效
| 申请号： | 200720103774.2 | 申请日： | 2007-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN201017846Y | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 王雨勃;朱长春;张涛;王力克 | 申请（专利权）人： | 北京理研社技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/00 | 分类号： | H01J37/00;H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 100085北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 为了解决现有探入式等离子发生装置存在的支撑架占用空间大、结构粗大的问题，本实用新型提供了一种新型等离子发生器。本实用新型包括柱状结构，设置于柱状结构一端的放电工作区，设置于柱状结构另一端的尾座，设置于基座的支撑架，其特征在于所述支撑架内设置有与所述柱状结构外围尺寸相适配的通孔或通槽，所述柱状结构可移动设置于所述通孔或通槽内。本实用新型避免了在工作腔外设置很大的支撑架妨碍其他作业；同时，柱状结构在支撑架上不必长时间处于悬臂状态，因此支撑架的结构变得小巧紧凑了。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 发生器 | ||
【主权项】：
1.一种等离子发生器，包括柱状结构，设置于柱状结构一端的放电工作区，其特征在于还包括设置于柱状结构另一端的尾座，设置于基座的支撑架，所述支撑架内设置有与所述柱状结构外围尺寸相适配的通孔或通槽，所述柱状结构可移动设置于所述通孔或通槽内。
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