[实用新型]真空镀膜用“U”形真空室无效
| 申请号： | 200720103860.3 | 申请日： | 2007-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN201010690Y | 公开（公告）日： | 2008-01-23 |
| 发明（设计）人： | 张迎春;刘洁雅;李佳;袁青春 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 102600北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种新型真空镀膜用“U”形真空室，所述“U”形真空室包括一底板以及位于底板两侧的侧板，其特征在于：所述真空室底板及侧板之间为无缝“U”形结构。本实用新型具有结构简单、节省材料、安全性能高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 真空 | ||
【主权项】：
1.真空镀膜用“U”形真空室，所述“U”形真空室包括一底板以及位于底板两侧的侧板，其特征在于：所述真空室底板及侧板之间为无缝“U”形结构。
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