[实用新型]一种用于硅片无蜡抛光的整体式抛光陶瓷盘

摘要

本实用新型公开了一种用于硅片无蜡抛光的整体式抛光陶瓷盘。它具有板式陶瓷盘，在板式陶瓷盘上设有陶瓷模板。所述的板式陶瓷盘与陶瓷模板用烧结或平面陶瓷滚珠轴承固定，做成固定式。板式陶瓷盘与陶瓷模板用螺钉和螺栓固定，做成可拆卸式。陶瓷模板孔内边缘设有塑料、橡胶或树脂材料的防护层。陶瓷模板孔内的板式陶瓷盘上设有小孔。本实用新型省去了模板，而且根据现在陶瓷生产工艺，陶瓷式模板比塑料模板更能达到更高的精度，使平整度更好，不变形，不需要粘贴，极大地提高了生产效率，降低了抛光成本，改善了抛光片的质量。

主权项

1.一种用于硅片无蜡抛光的整体式抛光陶瓷盘，其特征在于具有板式陶瓷盘(1)，在板式陶瓷盘(1)上设有陶瓷模板(2)。