[实用新型]非晶硅沉积炉中的导热油加热装置有效
| 申请号： | 200720122312.5 | 申请日： | 2007-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN201074247Y | 公开（公告）日： | 2008-06-18 |
| 发明（设计）人： | 李毅;周振义 | 申请（专利权）人： | 李毅 |
| 主分类号： | C23C16/24 | 分类号： | C23C16/24;C23C14/06;F24H8/00 |
| 代理公司： | 深圳市毅颖专利商标事务所 | 代理人： | 张艺影;李奕晖 |
| 地址： | 518029广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公布了一种非晶硅沉积炉中的导热油加热装置，包括真空室腔体外壁，保温层，加热层，该加热层位于真空室腔体外壁上，还包括由充有导热油的导热油腔体形成的加热层，该加热层设置在所述的真空室外壁和保温层内壁之间，该导热油腔体外壁面与真空室腔体外壁面之间形成导热良好的贴合面，该导热油腔体具有多个进油口和出油口，且每个进油口和出油口与导热油腔体端部结合部为液密封。本实用新型解决了现有技术中存在的加热速度慢，加热均匀性不好的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 非晶硅 沉积 中的 导热油 加热 装置 | ||
【主权项】：
1.一种非晶硅沉积炉中的导热油加热装置，包括真空室腔体外壁，保温层，加热层，该加热层位于真空室腔体外壁上，其特征在于还包括由充有导热油的导热油腔体形成的加热层，该加热层设置在所述的真空室外壁和保温层内壁之间，该导热油腔体外壁面与真空室腔体外壁面之间形成导热良好的贴合面，该导热油腔体具有多个进油口和出油口，且每个进油口和出油口与导热油腔体端部结合部为液密封。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
