[实用新型]晶片分选搬运机构装置无效

专利信息
申请号: 200720130899.4 申请日: 2007-12-12
公开(公告)号: CN201185186Y 公开(公告)日: 2009-01-21
发明(设计)人: 钟丹秋;徐华军;谢金才;孙迎春 申请(专利权)人: 南京熊猫仪器仪表有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 南京天翼专利代理有限责任公司 代理人: 汤志武
地址: 210002江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 晶片分选搬运机构装置,由机械手、步进电机、同步轮、机械手臂、高精度滑块、连接块A、连接块B、直线轴承、连接支架、外侧板、负压吸头构成,步进电机驱动同步轮,机械手臂装在同步轮轴上,机械手臂轴承固定在连接块A上,连接块A与高精度滑块的前端和固定机械手的连接支架相连,连接块A在高精度滑块的坚直轨道上滑动,高精度滑块的后端固定在连接块B上,连接块B在直线轴承上滑动,直线轴承固定在外侧板上。步进电机驱动同步轮,机械手臂装在同步轮轴上的机械手臂绕轴180度转动,带动高精度滑块上下运动、连接块B在直线轴承上左右运动,同时机械手就相应地做180度的圆弧运动吸取或放下晶片。
搜索关键词: 晶片 分选 搬运 机构 装置
【主权项】:
1、晶片分选搬运机构装置,其特征是由机械手、步进电机、同步轮、机械手臂、高精度滑块、第一连接块(14)、第二连接块(15)、直线轴承、连接支架、外侧板、负压吸头构成,步进电机驱动同步轮,机械手臂装在同步轮轴上,机械手臂轴承固定在第一连接块上,第一连接块与高精度滑块的前端和固定机械手的连接支架相连,第一连接块在高精度滑块的坚直轨道上滑动,高精度滑块的后端固定在第二连接块上,第二连接块在直线轴承上滑动,直线轴承固定在外侧板上;步进电机驱动同步轮,机械手臂装在同步轮轴上的机械手臂绕轴180度转动,带动高精度滑块上下运动、第二连接块在直线轴承上左右运动,同时机械手就相应地做180度的圆弧运动吸取或放下晶片。
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