[实用新型]晶片分选搬运机构装置无效
申请号: | 200720130899.4 | 申请日: | 2007-12-12 |
公开(公告)号: | CN201185186Y | 公开(公告)日: | 2009-01-21 |
发明(设计)人: | 钟丹秋;徐华军;谢金才;孙迎春 | 申请(专利权)人: | 南京熊猫仪器仪表有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 南京天翼专利代理有限责任公司 | 代理人: | 汤志武 |
地址: | 210002江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 晶片分选搬运机构装置,由机械手、步进电机、同步轮、机械手臂、高精度滑块、连接块A、连接块B、直线轴承、连接支架、外侧板、负压吸头构成,步进电机驱动同步轮,机械手臂装在同步轮轴上,机械手臂轴承固定在连接块A上,连接块A与高精度滑块的前端和固定机械手的连接支架相连,连接块A在高精度滑块的坚直轨道上滑动,高精度滑块的后端固定在连接块B上,连接块B在直线轴承上滑动,直线轴承固定在外侧板上。步进电机驱动同步轮,机械手臂装在同步轮轴上的机械手臂绕轴180度转动,带动高精度滑块上下运动、连接块B在直线轴承上左右运动,同时机械手就相应地做180度的圆弧运动吸取或放下晶片。 | ||
搜索关键词: | 晶片 分选 搬运 机构 装置 | ||
【主权项】:
1、晶片分选搬运机构装置,其特征是由机械手、步进电机、同步轮、机械手臂、高精度滑块、第一连接块(14)、第二连接块(15)、直线轴承、连接支架、外侧板、负压吸头构成,步进电机驱动同步轮,机械手臂装在同步轮轴上,机械手臂轴承固定在第一连接块上,第一连接块与高精度滑块的前端和固定机械手的连接支架相连,第一连接块在高精度滑块的坚直轨道上滑动,高精度滑块的后端固定在第二连接块上,第二连接块在直线轴承上滑动,直线轴承固定在外侧板上;步进电机驱动同步轮,机械手臂装在同步轮轴上的机械手臂绕轴180度转动,带动高精度滑块上下运动、第二连接块在直线轴承上左右运动,同时机械手就相应地做180度的圆弧运动吸取或放下晶片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造