[实用新型]溅镀机的防着板结构无效
| 申请号： | 200720141077.6 | 申请日： | 2007-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN201031252Y | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 赖翠仙 | 申请（专利权）人： | 建铯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京天平专利商标代理有限公司 | 代理人： | 孙刚;赵海生 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种溅镀机的防着板结构，该溅镀机包含有一溅镀源、一防着板结构、一输送带结构及数置物板，其中，溅镀过程中，原子会往被镀物方向沉积，因此也有可能沉积至防着板结构，所以溅镀操作一段时间之后，相关的结构均须拆卸清除沉积物，本实用新型的防着板结构一体成型有导轨结构，据此，无论在拆、装防着板结构后，就不用再拆、装导轨结构，可以减少组、拆次数，节省人力，防着板结构的强度也相应较强。 | ||
| 搜索关键词： | 溅镀机 防着 板结 | ||
【主权项】：
1.一种溅镀机的防着板结构，包含有：一向输送带结构及置物板方向溅镀的溅镀源、一输送带结构、数置物板及一由防着板构成的防着板结构，输送带上置放有置物板，而置物板上置放被镀物，所述防着板结构位于输送带结构两侧；其特征在于：该防着板结构的防着板一体成型有导轨。
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