[实用新型]一种物理气相沉积装置以及与其相关的防护套件

摘要

本实用新型主要包括用于减少PVD腔室内剥落的一种物理气相沉积装置及与其相关的防护套件。在一个实施方式中，公开了一种防护套件。该套件包括歧管架；与歧管架耦接的冷却歧管，其中冷却管道与冷却歧管耦接；与冷却歧管耦接的顶护板，其中顶护板具有小于冷却歧管内宽度的内宽度；以及与冷却歧管耦接的下护板，其中该下护板具有大于顶护板内宽度但是小于冷却歧管内宽度的内宽度。该顶护板可保持在固定位置并至少部分防护该阴影框架以减少在处理期间可能在该阴影框架上沉积的材料量。可冷却该顶护板以在处理和/或在停机时间期间减少该顶护板和阴影框架温度变化量。

主权项

1. 一种物理气相沉积装置，其特征在于，包含：在下降位置和提升位置之间可移动的阴影框架；至少部分覆在所述阴影框架之上的顶护板；以及与所述顶护板耦接的冷却歧管，其中所述冷却歧管控制所述顶护板的所述温度。