[实用新型]应用于平板电器的单块溅射靶组件及使用其的溅射装置有效
| 申请号： | 200720176817.X | 申请日： | 2007-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN201154985Y | 公开（公告）日： | 2008-11-26 |
| 发明（设计）人： | 布拉德利·O·斯廷森;细川昭弘;稻川真 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型包含用于在大面积衬底上沉积材料的单块溅射靶组件。溅射靶组件可以包含在单块结构中的溅射靶和靶托。由于溅射靶和靶托作为单块结构，则不需要粘接。另外，冷却通道可以埋到单块结构中，使得冷却液可以在溅射靶组件中流动，从而不需要在溅射靶组件后面设置分立的冷却组件。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 平板 电器 溅射 组件 使用 装置 | ||
【主权项】：
1、一种溅射靶组件，其特征在于，所述溅射靶组件包括：单块体，包括溅射靶和靶托；以及埋到单块体中的一个或多个冷却通道。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料股份有限公司，未经应用材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200720176817.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：多功能胸腔穿刺器
- 下一篇：铂－铌复合丝状辅助阳极
- 同类专利
- 专利分类
