[实用新型]一种光学相位延迟精密测量系统无效
申请号: | 200720190663.X | 申请日: | 2007-12-07 |
公开(公告)号: | CN201149541Y | 公开(公告)日: | 2008-11-12 |
发明(设计)人: | 宋菲君;韩永刚;范玲;林海晏;俞蕾;杨晓光;刘玉凤 | 申请(专利权)人: | 大恒新纪元科技股份有限公司北京光电技术研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01J9/00 |
代理公司: | 北京君尚知识产权代理事务所 | 代理人: | 余长江 |
地址: | 100085北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种光学相位延迟精密测量系统,该系统包括激光器、起偏器、光调制器、调制信号源、待测相位延迟器、相位补偿器、检偏器、光探测器、结果输出单元,本实用新型通过在光路中加入光调制器对检测偏振光进行光调制,产生调制偏振光,结果显示单元对接收信号滤波处理后实现将直流零点的测量转换交流零点的测量,从而准确判断极值点位置,提高了测量精度。本实用新型测量简单方便,结果准确可靠,精度可达到λ/300,适用于波片等光学延迟器件的生产和销售部门对产品的检验。 | ||
搜索关键词: | 一种 光学 相位 延迟 精密 测量 系统 | ||
【主权项】:
1.一种光学相位延迟精密测量系统,包括激光器、起偏器、光调制器、调制信号源、待测相位延迟器、相位补偿器、检偏器、光探测器、结果输出单元,其特征在于所述激光器发出的光依次经过所述起偏器、光调制器、待测相位延迟器、相位补偿器、检偏器、光探测器、信号处理电路后由结果显示单元显示输出结果,所述调制信号源与所述光调制器通过信号线连接。
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