[实用新型]晶圆取放结构

摘要

本实用新型提供一种晶圆取放结构，其主要通过间歇旋转带动机构、多组晶圆取放座、线性制动器以及前、后置电动升降制动构件的结构设计，从而提供一种动作路径为沿一圆周路径间歇位移状态的晶圆取放结构，其运作上每移动一个预定圆周角度行程即可完成一个晶圆取放动作，故相较于公知机械手臂取放结构而言，可大幅度提升晶圆取放速度、有效提高晶圆制程效率。

主权项

1、一种晶圆取放结构，其特征在于，包括：一主架体，具着置架部以及构件组设架部；一间歇旋转带动机构，设于主架体的构件组设架部预定高度位置，该间歇旋转带动机构包括一驱动装置、一间歇带动装置以及一旋转盘座；其中该驱动装置驱使该间歇带动装置产生间歇性旋转运动，该旋转盘座凸伸于间歇带动装置底部预定间隔处，随着该间歇带动装置同步产生间歇性旋转运动；多组晶圆取放座，间隔环列在间歇旋转带动机构的旋转盘座周侧部位，且所述各晶圆取放座呈可沿着一立向轨道作升降运动，各晶圆取放座底端设有吸嘴部，又各晶圆取放座外侧预定高度处并设有被带动部；多组线性制动器，间隔环列在旋转盘座周侧部位与各晶圆取放座相对应处，所述线性制动器的伸缩轴与所对应的晶圆取放座相连结，又各组线性制动器并借一气压控制器以自动控制该各伸缩轴的下降停止高度位置，且使整体伸缩轴及晶圆取放座的下降定位点沿其圆周排列路径具有斜向高低差异的设定状态；至少一前置电动升降制动构件，组设在间歇旋转带动机构的一侧与下降定位点最低的该组晶圆取放座相对位，该前置电动升降制动构件具有一可升降动作的升降座，该升降座具有一带动部可与相对位的晶圆取放座所设被带动部相配合带动；至少一后置电动升降制动构件，组设在间歇旋转带动机构的一侧与下降定位点最高的该组晶圆取放座相对位，该后置电动升降制动构件具有一可升降动作的升降座，该升降座具有一带动部可与相对位的晶圆取放座所设被带动部相配合带动。