[发明专利]用于产生等离子流的装置无效

专利信息
申请号: 200780000574.7 申请日: 2007-02-17
公开(公告)号: CN101326863A 公开(公告)日: 2008-12-17
发明(设计)人: 安德列·伊格纳特科夫;简斯·雷克 申请(专利权)人: 赖茵豪森机械制造公司
主分类号: H05H1/24 分类号: H05H1/24
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 吴丽丽
地址: 德国雷*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及一种具有至少一个放电管的用于产生等离子流的装置,处理气体流过所述放电管。按照本发明,在至少一个放电管上设置了一个导电的放电防护装置。本发明的优点主要在于,寄生放电被抑制,并且所述装置的各部件和基底的热负荷被降低。
搜索关键词: 用于 产生 等离子 装置
【主权项】:
1.一种用于产生等离子流的装置,具有至少一个放电管(1),通过一个气体软管(5)馈送的处理气体流过所述放电管,其中放电管(1)的壁由电介质材料构成,并且其中第一个电极(2)构造成实心的,并且以它在其纵向方向延伸的形式被设置在放电管(1)内部的中心处,其中第二个电极(3)在轴向方向上同心地围绕着放电管(1)的壁设置,使得第一个电极(2)、放电管(1)和第二个电极(3)构成一个具有开放端面的、同轴的、并在横截面上同心的结构,在所述开放端面处可产生等离子流,其特征在于,一个由导电材料构成的放电防护装置(4)被设置在放电管(1)上,这个放电防护装置与第一个电极(2)相连接,所述放电防护装置(4)接纳气体软管(5)的开放端,并且放电防护装置(4)的朝向气体软管(5)的开放端的一侧如此延伸,使得它以一个中间间隙包围所述气体软管(5)。
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