[发明专利]磁盘用玻璃基板的制造方法及磁盘制造方法有效
申请号: | 200780001238.4 | 申请日: | 2007-09-11 |
公开(公告)号: | CN101356040A | 公开(公告)日: | 2009-01-28 |
发明(设计)人: | 片桐诚宏;吉丸刚太郎 | 申请(专利权)人: | HOYA株式会社 |
主分类号: | B24B9/08 | 分类号: | B24B9/08;B24B1/00;B24B37/00;G11B5/84 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 何腾云 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在一边供给含大粒径研磨磨粒的研磨液、一边使玻璃基板与软质的研磨垫相对移动、进行研磨的先行研磨工序中,玻璃基板主表面的端部成为比中央部隆起的形状(滑行跳变)。在后续的研磨工序中,使用含有小粒径研磨磨粒的研磨液和硬度更高的研磨垫,进行这样的研磨:假设研磨具有平坦端部的玻璃基板,则能得到主表面的端部比中央部下降的形状(滑离)的玻璃基板。这样,使玻璃基板朝着抵消先行研磨工序中形成的滑行跳变的方向变化,使端部形状近于平坦。 | ||
搜索关键词: | 磁盘 玻璃 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种磁盘用玻璃基板的制造方法,包含玻璃基板的端部形状变化的第1处理工序和第2处理工序,其特征在于,该制造方法还包含在上述第1处理工序之前、掌握该第1处理工序后的上述玻璃基板的端部形状的掌握工序;在上述第2处理工序中,使上述玻璃基板朝着抵消上述掌握工序所掌握的端部形状的方向变化,将上述端部形状形成为所需形状。
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