[发明专利]碳纳米管集合体的制造方法、碳纳米管集合体、催化剂粒子分散膜、电子发射元件、以及场发射显示器无效
| 申请号： | 200780001831.9 | 申请日： | 2007-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN101365649A | 公开（公告）日： | 2009-02-11 |
| 发明（设计）人： | 瀧优介;筱原清晃;菊池牧子 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | C01B31/02 | 分类号： | C01B31/02;B01J21/18;B01J23/85;B01J35/02;B82B1/00;B82B3/00;H01J1/30;H01J31/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 岳耀锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种碳纳米管集合体的制造方法，对基板上的碳纳米管的生长密度加以控制，该方法包含下述步骤：准备催化剂粒子分散膜形成基板的步骤，所述催化剂粒子分散膜形成基板具备将具有既定粒径的金属催化剂粒子分散在障碍粒子中得到的催化剂粒子分散膜；热CVD步骤，以所述金属催化剂粒子作为基点，通过有机化合物蒸气的热分解来使碳纳米管生长。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 集合体 制造 方法 催化剂 粒子 分散 电子 发射 元件 以及 显示器 | ||
【主权项】：
1.一种碳纳米管集合体的制造方法，对基板上的碳纳米管的生长密度加以控制，其中，该方法包含下述步骤：准备催化剂粒子分散膜形成基板的步骤，该催化剂粒子分散膜形成基板具备具有既定粒径的金属催化剂粒子分散在障碍粒子中而得到的催化剂粒子分散膜；以及热CVD步骤，以所述金属催化剂粒子为基点，通过有机化合物蒸气的热分解来使碳纳米管生长。
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