[发明专利]驻极体电容器类型复合传感器

摘要

一种小型、薄型且重量轻的驻极体电容器类型复合传感器，除了检测声、振动、压力和加速度之外，该复合传感器通过单个传感器还可以检测光。一种驻极体电容器类型传感器由壳体(11)、电极(21)、孔(兼用做音孔和导光孔)(22)、间隔物(31)、透光振动板(41)、振动板环(42)、印刷基板(6)和半导体元件(61)组成。具有光电效应的功能的光电转换部设置在半导体元件(61)的表面的一部分上，光通过孔(22)和透光振动板(41)引导至光电转换部，且由光电动势产生的电信号被读出，该电信号为与由驻极体电容器的电容变化产生的电信号不同的信号。

主权项

1.一种驻极体电容器类型复合传感器，包含驻极体电容器和半导体元件，所述半导体元件具有放大和输出从所述驻极体电容器得到的信号的功能，所述驻极体电容器类型复合传感器根据所述驻极体电容器的静电电容变化来检测预定物理量并具有光检测功能，其中:所述半导体元件具有光电转换部，当光传导至所述光电转换部时通过光电转换产生电信号，且所述电信号与由于所述驻极体电容器的静电电容变化产生的电信号有区别地从所述半导体元件输出。