[发明专利]静电保持装置以及使用该装置的真空环境装置和接合装置有效
| 申请号： | 200780008478.7 | 申请日： | 2007-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN101401292A | 公开（公告）日： | 2009-04-01 |
| 发明（设计）人： | 傅宝莱 | 申请（专利权）人： | 筑波精工株式会社 |
| 主分类号： | H02N13/00 | 分类号： | H02N13/00;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京邦信阳专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王昭林;崔 华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种静电保持装置，该静电保持装置(100)，将多个电极组(112a、112b)作为保持部向电极组(112a、112b)施加规定高电压，且通过静电力而将保持对象物(W1、W2)保持。将用来从低电压向静电保持所必需的规定高电压转换的高电压发生部或高电压发生源(114)配置在每一个电极模块(110)中。该高电压发生部(114)被密封或封闭起来。该高电压发生部也可以包含电压放大电路。此外，该高电压发生部还可以包含电池和升压电路。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 保持 装置 以及 使用 真空 环境 接合 | ||
【主权项】：
1. 一种静电保持装置，其特征在于包括：多个电极模块，具有保持面并将保持对象物静电保持在所述保持面上；高电压发生部，设置于所述多个电极模块的每一者中，而使低电压变换为静电保持所必需的规定高电压，所述高电压发生部是密封的。
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