[发明专利]减小多个柱状电子束测试系统中的串扰的方法有效
| 申请号： | 200780009222.8 | 申请日： | 2007-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN101400991A | 公开（公告）日： | 2009-04-01 |
| 发明（设计）人： | R·施米特;T·施韦德斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/00 | 分类号： | G01N23/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆 嘉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示一种用以减少或消除多个电子束之间串扰的方法与设备。多个电子束在大面积基板上产生多个相邻的测试区域，其中来自一测试区域的二次电子可以在一相邻的测试区域中被检测出。在一实施例中，主要束发射以及来自该主要束的二次电子的检测的定时被控制，以消除或减少来自另一主要束的二次电子的检测的可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 减小 柱状 电子束 测试 系统 中的 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种用于减少至少第一电子束柱与至少第二电子束柱之间的串扰的方法，其中第二电子束柱邻近于第一电子束柱，该方法包含：提供第一触发事件；在第一触发事件之后的第一预定时间，用第一电子束柱将第一电子束脉冲发射到基板上；在第一触发事件之后的第二预定时间，在第一读取窗口中检测来自第一电子束脉冲的第一信号；提供第二触发事件；在第二触发事件之后的第三预定时间，用第二电子束柱将第二电子束脉冲发射到基板上；以及在第二触发事件之后的第四预定时间，在第二读取窗口中检测来自第二电子束脉冲的第二信号，其中第一读取窗口与第二读取窗口占据不同的时间周期。
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