[发明专利]惯性力传感器

摘要

本发明提供一种惯性力传感器(50)，其包括用以检测惯性力的检测元件(1)，检测元件(1)具有：两个第1正交臂(52)，其在实质正交方向上连结有第1臂(2)和第2臂(4)；支承部(6)，其支承两个第1臂(2)；固定用臂(8)；以及锤部(14)。并且，第2臂(4)具有：弯折部(4a)；相对部(16)，其在弯折部(4a)处弯折，并与第2臂(4)相对；驱动电极(18)，其设置在彼此相对的其中两个相对部(16)处，并对相对部(16)进行驱动振动；以及检测电极(20)，其设在另外两个相对部(16)处，并检测相对部(16)的变形。根据此结构，能够获得小型惯性力传感器(50)，其能够检测互不相同的多个惯性力且能够检测多个检测轴的惯性力。

主权项

1、一种惯性力传感器，其具备：用以检测惯性力的检测元件，其中，所述检测元件具备：两个第1正交臂，其分别具有第1臂和第2臂，并且是将所述第1臂和所述第2臂在实质正交方向上连结而形成的；支承部，其支承两个所述第1臂；固定用臂，其一端连结有所述支承部，并且另一端固定有被安装所述检测元件的安装衬底，所述固定用臂至少一部分兼作所述第1臂；以及锤部，其形成在所述第2臂的端部，所述第2臂具有：弯折部，其将所述第2臂弯折；相对部，其在所述弯折部处弯折，并与所述第2臂相对；驱动电极，其以所述支承部为基准，设置在同一方向的两个所述相对部上，对所述相对部进行驱动振动；以及检测电极，其以所述支承部为基准，设置在与设置有所述驱动电极的所述相对部反方向的两个所述相对部上，检测所述相对部的变形。