[发明专利]残留气体分析仪

摘要

一种残留气体分析仪，对于半导体装置等狭窄场所也能够合适配置进行计量测定，且在无外部PC机的情况下能够进行从计量测定直至显示计量测定结果。其包括由检测残留气体的传感部(11)构成的传感器单元(1)以及装置本体(2)，该装置本体包括受操作以控制所述传感部(11)的操作部、根据所述传感部(11)的输出而对残留气体进行分析处理的残留气体分析处理部、以及对残留气体分析处理部的分析处理结果进行图像显示的分析处理结果图像显示部，获取将所述传感器单元(1)安装后的安装状态(P1)或将其脱离后的脱离状态(P2)。

主权项

1.一种残留气体分析仪，其特征在于，包括具有检测残留气体的传感部的传感器单元；以及装置本体，该装置本体包括：接受操作以控制所述传感部的操作部；根据所述传感部的输出而对残留气体进行分析处理的残留气体分析处理部；以及对残留气体分析处理部的分析处理结果进行图像显示的分析处理结果图像显示部，该装置本体可保持装有所述传感器单元的安装状态或将所述传感器单元卸下后的脱离状态。