[发明专利]制造高质量表面的方法和具有高质量表面的产品无效
申请号: | 200780010348.7 | 申请日: | 2007-02-23 |
公开(公告)号: | CN101421071A | 公开(公告)日: | 2009-04-29 |
发明(设计)人: | R·拉帕莱纳恩;V·迈利梅基;L·普利;J·梅基塔洛 | 申请(专利权)人: | 皮科德昂有限公司 |
主分类号: | B23K26/06 | 分类号: | B23K26/06;C23C14/28 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 屠长存 |
地址: | 芬兰赫*** | 国省代码: | 芬兰;FI |
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摘要: | 本发明涉及用于涂覆具有一个或多个表面的物体的激光烧蚀方法,以便通过烧蚀靶材来涂覆被涂物体,即基板,从而使淀积在被涂物体上的表面的均匀度为±100nm。被涂物体的表面有利的是没有微米尺寸颗粒的,其通常在技术上为纳米表面,其中单个颗粒的尺寸最大为±25nm。本发明还涉及通过所述方法制造的产品。 | ||
搜索关键词: | 制造 质量 表面 方法 具有 产品 | ||
【主权项】:
1、一种用于涂覆具有一个或多个表面的物体的激光烧蚀方法,其特征在于通过脉冲冷加工激光器烧蚀靶材来涂覆被涂物体,即基板,以便在通过原子力显微镜(AFM)在一平方微米的面积中测量时,淀积在被涂物体上的表面的均匀度为±100nm。
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