[发明专利]处理数据管理系统、处理系统、以及处理装置的数据管理方法

摘要

本发明提供一种处理数据管理系统、处理系统以及处理装置的数据管理方法，具备：处理装置(磁盘制造用的溅射装置等)(11)，针对每个周期重复进行同一工序处理；采样单元(30)，收集处理装置中的处理条件的原始数据(放电条件等)；运算部件(100)，接收上述原始数据，将原始数据根据一定的规则加工成表现每个周期的特征点的概要数据(特性值：例如平均值、最大值、最小值、标准偏差、放电时间等)；数据保存单元(40)，将该加工出的概要数据保存到存储部件；显示·输出单元(50)，对保存在存储部件中的概要数据进行图表显示。

主权项

1. 一种处理数据管理系统，其特征在于包括：数据加工部件，接收在每个周期都重复进行同一工序处理的处理装置中收集到的处理条件的原始数据，将该原始数据根据一定的规则进行运算而加工成表现每个周期的特征点的概要数据；数据保存部件，将该加工后的概要数据保存到存储部件。