[发明专利]用于化学气相沉积或原子层沉积的化学物输送装置有效
| 申请号： | 200780011946.6 | 申请日： | 2007-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN101415977A | 公开（公告）日： | 2009-04-22 |
| 发明（设计）人： | 诺曼·纳卡西玛;克里斯托夫·马卡德;赛沙德利·甘古利;保罗·马;舒伯特·S·楚 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K3/36 | 分类号： | F16K3/36;F16K11/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种安瓿组件，其配置有旁通管路和阀，以允许连接到所述安瓿的管路和阀的净化。在一个实施方式中，所述安瓿组件包括安瓿、输入管路、输出管路和在所述输入管路和所述输出管路之间连接的旁通管路，所述旁通管路中设置有用以流体耦合或去耦合所述输入管路和所述输出管路的截止阀。设置在所述旁通管路中的所述截止阀可以是远程可控的。另外，附加的远程可控截止阀可以设置在所述输入管路和所述输出管路中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 沉积 原子 输送 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种安瓿组件，包括：安瓿；用于所述安瓿的输入管路，所述输入管路中设置有第一手动截止阀；用于所述安瓿的输出管路，所述输出管路中设置有第二手动截止阀；以及在所述输入管路和所述输出管路之间连接的第一旁管路，所述第一旁通管路中设置有用以流体耦合或去耦合所述输入管路和所述输出管路的截止阀。
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