[发明专利]用于化学气相沉积的装置和方法

摘要

本发明提供用以产生汽化的液态前体材料的方法与设备。该方法与设备可作为化学气相沉积设备或系统的一部分。该方法与设备包括提供一用来容纳液态前体(211)的容器(218)以及扩散组件(232)，其中该扩散组件的外剖面尺寸基本上等于该容器的内剖面尺寸。

主权项

1. 一种化学气相沉积设备，其包含：一化学气相沉积反应室，其具有一气体入口端口与一液态反应物汽化器，该汽化器具有一出口端口与一容器，其中该出口端口连接至该反应器的气体入口端口，且该容器包含一上部分、一下部分、多个内侧面与一底面，该容器包含一液态反应物，并且介于这些内侧面之间的空间定义出一容器内径；一入口端口，其连接至一载气源；一多孔构件，其外径基本上等于该容器的内径，被插入该容器的下部分中直至低于该液态反应物的液面，并且在该多孔构件与该容器的底面之间定义出一气室；以及一气体输送导管，其延伸穿过该气体入口端口与该多孔构件。