[发明专利]电容式传声器

摘要

一种电容式传声器包括：具有腔体的基板；限定开口的第一间隔件和第二间隔件；定位在开口之内的矩形形状隔膜；以及就在隔膜上方的矩形形状板件。与板件的两侧整体地互连的板件连结部直接安附到第二间隔件上。横跨开口并向开口之内凸出的、安附到第二间隔件上的支承件经由第三间隔件连接至隔膜的相对于板件其它两侧的指定部分。隔膜的中心部能被设计为多层结构，并且周边部分能向外弯曲。此外，隔膜的两个端部固定在且位，而隔膜的自由端部由于声波而振动。

主权项

1、一种电容式传声器，包括：具有腔体的基板；第一间隔件，通过沉积在所述基板上的第一膜形成；第二间隔件，通过沉积在所述第一间隔件上的、具有绝缘能力的第三膜形成；开口，贯穿所述第一间隔件和所述第二间隔件以便与所述腔体连通；隔膜，定位在所述开口之内且与所述第一间隔件和所述第二间隔件略微离开，并且通过形成在所述第一膜和所述第三膜之间的、具有导电性的第二膜形成；板件，通过沉积在所述第三膜上的、具有导电性的第四膜以矩形形状形成，所述矩形形状由第一对相对侧和第二对相对侧限定，所述板件被定位为与所述隔膜大致平行，其中，所述第一对相对侧被固定到所述第二间隔件，并且所述第二对相对侧在平面视图中被定位在所述隔膜的一区域之内；一对桥接件，通过所述第四膜形成并且被安附到所述第二间隔件上，以便向所述开口内凸出；以及一对第三间隔件，与所述第一间隔件和所述第二间隔件离开并且被定位在所述开口之内，其中，所述第三间隔件在所述桥接件的凸出部和所述隔膜中的相对于所述第二对相对侧的指定部分之间连结。