[发明专利]判定光谱中铜浓度的方法无效
| 申请号： | 200780014741.3 | 申请日： | 2007-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN101432616A | 公开（公告）日： | 2009-05-13 |
| 发明（设计）人： | 多米尼克·J·本文格努;杰弗里·朱恩·大卫;博古斯劳·A·司维德克;及明·章;哈利·Q·李 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55;G01B11/06;G01N21/84 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵 飞;南 霆 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开一种在化学机械抛光期间减去非电介质(例如，铜)对衬底光谱的贡献的方法。尤其公开一种在抛光衬底时通过使用表面的宽带反射光谱而光学判定衬底上包括非电介质材料的区域的量以及判定覆盖在衬底的表面上金属(诸如铜)溶度的方法。该方法涉及当邻近区域由金属覆盖时通过来自电介质区域的反射所得到的光谱干涉图案而可靠地判定终点，其中，金属强烈反射涉及的全波长范围并且倾向于将反射光谱从邻近电介质区域遮蔽。 | ||
| 搜索关键词： | 判定 光谱 浓度 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种判定衬底上包括非电介质材料的区域的量的方法，该方法至少包含：取得来自所述衬底的表面的反射光的测量光谱；使所述测量光谱与来自非电介质材料的反射光的参考光谱彼此关联，以得到相关性；以及将所述相关性归一化，以获得所述区域的所述非电介质材料的浓度。
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