[发明专利]六氟-1,3-丁二烯的制造方法有效

专利信息
申请号: 200780014929.8 申请日: 2007-04-25
公开(公告)号: CN101432253A 公开(公告)日: 2009-05-13
发明(设计)人: 大野博基;大井敏夫 申请(专利权)人: 昭和电工株式会社
主分类号: C07C17/23 分类号: C07C17/23;C07C17/383;C07C21/20
代理公司: 北京市中咨律师事务所 代理人: 段承恩;田 欣
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供可以作为半导体用途的微细加工用蚀刻气体使用的六氟-1,3-丁二烯的安全、廉价、且经济的工业制造方法。本发明所涉及的六氟-1,3-丁二烯的制造方法的特征在于,包括(1)在稀释气体存在下,在气相中使碳原子数为4的化合物与氟气反应,从而得到含有生成物(A)的混合物的工序,所述碳原子数为4的化合物中每个碳原子上含有一个选自溴原子、碘原子和氯原子中的原子,和(2)在溶剂存在下,将工序(1)中得到的生成物(A)用金属使除了氟原子之外的卤素脱离,从而得到含有六氟-1,3-丁二烯的混合物的工序。
搜索关键词: 丁二烯 制造 方法
【主权项】:
1. 一种六氟-1,3-丁二烯的制造方法,其特征在于,包括工序(1)和工序(2),其中,工序(1)是在稀释气体存在下,在气相中使碳原子数为4的化合物与氟气反应,从而得到含有生成物(A)的混合物的工序,所述碳原子数为4的化合物中每个碳原子上含有一个选自溴原子、碘原子和氯原子中的原子,工序(2)是在溶剂存在下,将工序(1)中得到的生成物(A)用金属使除了氟原子之外的卤素脱离,从而得到含有六氟-1,3-丁二烯的混合物的工序。
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