[发明专利]六氟-1,3-丁二烯的制造方法有效
申请号: | 200780014929.8 | 申请日: | 2007-04-25 |
公开(公告)号: | CN101432253A | 公开(公告)日: | 2009-05-13 |
发明(设计)人: | 大野博基;大井敏夫 | 申请(专利权)人: | 昭和电工株式会社 |
主分类号: | C07C17/23 | 分类号: | C07C17/23;C07C17/383;C07C21/20 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 | 代理人: | 段承恩;田 欣 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供可以作为半导体用途的微细加工用蚀刻气体使用的六氟-1,3-丁二烯的安全、廉价、且经济的工业制造方法。本发明所涉及的六氟-1,3-丁二烯的制造方法的特征在于,包括(1)在稀释气体存在下,在气相中使碳原子数为4的化合物与氟气反应,从而得到含有生成物(A)的混合物的工序,所述碳原子数为4的化合物中每个碳原子上含有一个选自溴原子、碘原子和氯原子中的原子,和(2)在溶剂存在下,将工序(1)中得到的生成物(A)用金属使除了氟原子之外的卤素脱离,从而得到含有六氟-1,3-丁二烯的混合物的工序。 | ||
搜索关键词: | 丁二烯 制造 方法 | ||
【主权项】:
1. 一种六氟-1,3-丁二烯的制造方法,其特征在于,包括工序(1)和工序(2),其中,工序(1)是在稀释气体存在下,在气相中使碳原子数为4的化合物与氟气反应,从而得到含有生成物(A)的混合物的工序,所述碳原子数为4的化合物中每个碳原子上含有一个选自溴原子、碘原子和氯原子中的原子,工序(2)是在溶剂存在下,将工序(1)中得到的生成物(A)用金属使除了氟原子之外的卤素脱离,从而得到含有六氟-1,3-丁二烯的混合物的工序。
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