[发明专利]故障源设备确定系统

摘要

使候选故障源设备处理的各基板上的缺陷分布叠合，制成第1缺陷分布叠合图像。使与该候选故障源设备执行的工序相同的工序中该候选故障源设备以外的设备处理的各基板上的缺陷分布叠合，制成第2缺陷分布叠合图像。在某一显示屏幕上对比并显示第1缺陷分布叠合图像和第2缺陷分布叠合图像。利用本发明，用户可通过视觉直观地掌握确定的候选故障源设备是否真正为异常源，能与以往的情况比较并迅速且方便地作出判断。

主权项

1、一种故障源设备确定系统，其特征在于，是在用可执行各种工序的1套以上的设备分别执行1个以上该工序的生产线上，对基板确定成为故障发生源的设备的故障源设备确定系统，所述生产线包含规定的工序结束后取得表示各基板上的缺陷的位置的缺陷分布信息的检查工序，所述故障源设备确定系统包括：使用关于所述各基板的缺陷分布信息，按每一缺陷分布图案对所述各基板进行分类的分类结果取得部；根据所述分类结果取得部得到的分类结果和确定在所述各工序中分别对所述各基板执行处理的设备的生产履历信息，确定所述多个设备中成为故障发生源的候选故障源设备的候选故障源设备确定部；使所述候选故障源设备处理的各基板上的缺陷分布叠合，以制成第1缺陷分布叠合图像的第1缺陷分布图像制成部；在与所述候选故障源设备所执行的工序相同的工序中，使由所述候选故障源设备以外的设备所处理的各基板上的缺陷分布叠合，以制成第2缺陷分布叠合图像的第2缺陷分布图像制成部；以及第1显示部，该第1显示部在某一显示屏幕上对比并显示所述第1缺陷分布叠合图像和所述第2缺陷分布叠合图像。