[发明专利]用于捕获离子束粒子和聚焦离子束的方法和系统有效
| 申请号： | 200780015094.8 | 申请日： | 2007-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN101432841A | 公开（公告）日： | 2009-05-13 |
| 发明（设计）人： | 彼得·克雷曼;维特·班威尼斯特;亚历山大·普瑞尔;布莱恩·弗瑞尔;麦可·葛瑞夫 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/12 | 分类号： | H01J37/12;H01J37/317 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王新华 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于离子植入作业的聚焦粒子捕捉系统(200)，此系统可在植入之前先从离子束(202)移除不希望的粒子(222)。入口电极(204)包括进入孔(206)，并被偏压至第一基底电压。中央电极(208)位于该入口电极下游而距其有距离处，并且包括中央孔。该中央电极被偏压至小于该第一基底电压的负值。出口电极(212)位于该中央电极下游而与其具有距离，并且包括出口孔(214)。该出口电极被偏压至第二基底电压。产生从该入口电极朝向该中央电极第一静电场(218)，和产生从该出口电极朝向该中央电极的第二静电场(220)，藉此捕捉在离子束内不想要的粒子。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 捕获 离子束 粒子 聚焦 方法 系统 | ||
【主权项】：
1. 一种离子植入系统，包括：离子束源，其产生离子束；射束线组件，其接收来自该离子束源的离子束，所述射束线组件包括：质量分析器，其选择性地通过选择的离子；加速/减速元件，其接收来自该质量分析器的离子束，并且改变该离子束的能量水平；以及聚焦静电粒子捕捉机，其接收来自该加速/减速元件的离子束，并且从该离子束移除粒子，所述聚焦静电粒子捕捉机包括：入口电极，其包括入口孔并被偏压至第一基底电压；中央电极，其位于该入口电极下游而与其距有距离处，并包括中央孔且被偏压至中央电压，其中该中央电压小于该第一基底电压；以及出口电极，其位于该中央电极下游而与其距有距离处，并包括出口孔且被偏压至第二基底电压；以及其中产生从该入口电极朝向该中央电极的第一静电场，并且产生从该出口电极朝向该中央电极的第二静电场；以及末端站台，其接收来自该射束线组件的离子束。
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