[发明专利]液滴沉积部件无效
| 申请号： | 200780015353.7 | 申请日： | 2007-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN101432143A | 公开（公告）日： | 2009-05-13 |
| 发明（设计）人： | 于尔根·布鲁纳哈尔 | 申请（专利权）人： | 赛尔技术有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 罗正云;王诚华 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种形成用于打印头的喷嘴板部件(30)的方法，包括以下步骤：提供一具有限定顶表面的聚合上层(11)和限定底表面的金属下层(12)的层状主体；通过烧蚀或光刻从所述聚合层去除材料以选择性地露出所述金属层；以及从所述顶表面施加选择性地蚀刻所述金属层的露出区域的蚀刻剂，从而底切所述上层以在所述金属层中形成凹进区域(21)，并形成通过所述主体(20，21)的开口。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 部件 | ||
【主权项】：
1、一种形成用于液滴沉积装置的喷嘴板部件的方法，包括以下步骤：提供一具有限定顶表面的聚合上层和限定底表面的下层的主体；在第一工序从所述上层中去除材料，以选择性地露出所述下层；以及在第二工序从所述顶表面处理所述下层的露出区域，以从所述下层中选择性地去除材料，从而形成通过所述主体的开口。
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