[发明专利]用于感测压力的表面声波异频雷达收发机

摘要

本发明涉及一种用于感测压力的表面声波(SAW)异频雷达收发机，更具体地，涉及一种用于感测压力的SAW异频雷达收发机，其包括：与SAW异频雷达收发机相连接的压力传感器，该SAW异频雷达收发机接收施加的射频(RF)信号以产生表面声波(SAW)，并且能通过SAW的振幅变化探测压力的变化。根据本发明，改善了用于感测压力的表面声波(SAW)异频雷达收发机的结构，并且因此外部压力的变化可被有效地探测到。此外，因为外部压力的变化和压力传感器的变化相互之间具有线性关系，所以外部的变化可被轻易地且量化地探测到，并且外部的发送/接收器件可轻易地分析压力信号。

主权项

1. 一种用于感测压力的SAW(表面声波)异频雷达收发机，包括：发送/接收IDT(内部数字异频雷达收发机)，所述发送/接收IDT接收施加的信号以产生SAW(表面声波)并接收SAW以产生RF(射频)信号；探测IDT，所述探测IDT反射从所述发送/接收IDT发送过来的SAW以返回所述SAW给所述发送/接收IDT；和电容压力传感器，所述电容压力传感器与所述探测IDT电连接以调制由所述探测IDT反射的SAW的振幅，其中，所述电容压力传感器的电容压力的电容依据周围压力变化，其中，所述电容压力传感器包括：基板；导电下部电极，所述导电下部电极形成在基板上以覆盖所述基板的预定区域；介电层，所述介电层形成于所述基板上以覆盖所述下部电极；和上部电极，所述上部电极包括设置于所述基板上的环形支撑部，和由所述支撑部支撑的电极部，所述电极部在由所述支撑部环绕的下部电极上密闭一个空间，并且根据从上部部件施加的压力的增加，使所述电极部与介电层接触，同时所述电极部发生弹性形变，其中，所述上部电极和所述下部电极的电容根据与所述介电层接触的所述电极部的面积大小变化。