[发明专利]电容式传感器有效
| 申请号： | 200780015491.5 | 申请日： | 2007-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN101432627A | 公开（公告）日： | 2009-05-13 |
| 发明（设计）人： | 古久保英一;若林大介;宫岛久和;大渕正夫;青木亮 | 申请（专利权）人： | 松下电工株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 张成新 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 电容式传感器(1)包括固定电极(6)和通过梁部分(4)由支座部分(3)可动支撑的可动电极(5)。固定电极(6)和可动电极(5)彼此相对，在其间夹有间隙，从而组成检测单元。检测适合间隙的尺寸的电容，以检测预定的物理值。连接到支座部分(3)的梁部分(4)的端部(4a)和连接到可动电极(5)的梁部分(4)的端部(4b)的至少之一设置有调节应力的应力调节单元(30)。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 传感器 | ||
【主权项】：
1. 一种电容式传感器，所述电容式传感器包括固定电极和通过梁由半导体层的固定部分可动支撑的可动电极，其中固定电极和可动电极彼此相对，在固定电极和可动电极之间夹有间隙，从而组成检测单元，检测适合间隙的尺寸的电容，从而检测预定的物理值，其中连接到固定部分的梁的端部和连接到可动电极的梁的端部中的至少之一设置有调节局部应力集中的应力调节单元。
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