[发明专利]拍摄位置校正方法、拍摄方法及基板拍摄装置

摘要

本发明提供一种拍摄方法，可以边使基板和拍摄装置相对移动，边在准确的位置拍摄基板上的图像。该拍摄方法具备：拍摄步骤，边使基板和照相机相对移动，边拍摄基板上的图像；偏移量预测步骤，在拍摄基板上的图像时，基于基板与照相机的相对移动速度和移动距离，预测在没有校正的状态下产生拍摄触发时的基板的拍摄对象位置与实际上被拍摄的位置的偏移量；拍摄触发校正步骤，将产生拍摄触发的时刻错开与所预测的偏移量相当的时间。偏移量预测步骤具备：基准基板拍摄步骤，边使成为基准的基板和照相机相对移动，边拍摄成为基准的基板；计测步骤，根据在基准基板拍摄步骤中拍摄的图像，计测拍摄对象位置与由没有校正的拍摄触发所致的实际拍摄位置的偏移量；以及基于所计测的偏移量预测偏移量的步骤。

主权项

1. 一种拍摄位置校正方法，具备：使被拍摄体与照相机相对移动的步骤；拍摄步骤，响应拍摄触发，利用所述照相机拍摄被拍摄体的图像；偏移量预测步骤，在所述拍摄步骤中拍摄所述基板上的图像时，基于所述基板与所述拍摄照相机的相对移动速度，预测要产生拍摄触发的位置与所述基板的拍摄位置的偏移量；以及校正步骤，基于所述偏移量预测步骤中所预测的偏移量，将所述拍摄触发的产生时刻校正为所述照相机面对着从所述基板的拍摄位置起错开了校正量的位置的时刻。