[发明专利]用于错误诊断的多种错误特征无效
申请号: | 200780016501.7 | 申请日: | 2007-05-07 |
公开(公告)号: | CN101438249A | 公开(公告)日: | 2009-05-20 |
发明(设计)人: | L·J·小哈维;A·T·施沃姆 | 申请(专利权)人: | 应用材料股份有限公司 |
主分类号: | G06F11/00 | 分类号: | G06F11/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 陆 嘉 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 揭示一种用于诊断错误的方法及设备。侦测一错误。判定对该错误有贡献的一个或多个处理变量。判定一个或多个处理变量的相关贡献。作出关于哪些错误特征符合该错误的决定,当一个或多个处理变量的相关贡献在符合的错误特征的相关贡献范围内时就出现该符合。各错误特征与至少一个错误分类相关联。 | ||
搜索关键词: | 用于 错误 诊断 多种 特征 | ||
【主权项】:
1. 一种诊断错误的方法,其包含:侦测一错误;判定对该错误有贡献的一个或多个处理变量;判定所述一个或多个处理变量中的每一个的相应贡献;及判定多个错误特征中的哪一个符合该错误,如果所述一个或多个处理变量的相应贡献在一个错误特征的相应贡献范围内,则该错误特征就符合该错误,每一个错误特征与至少一个错误分类相关联。
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