[发明专利]用于制造分离彩色滤光片的侧壁间隔物及对应图像传感器的方法无效
申请号: | 200780016627.4 | 申请日: | 2007-03-30 |
公开(公告)号: | CN101438411A | 公开(公告)日: | 2009-05-20 |
发明(设计)人: | 里夏德·D·霍尔舍;乌尔里希·C·伯蒂格 | 申请(专利权)人: | 美光科技公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H01L31/0216 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 王允方 |
地址: | 美国爱*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明揭示一种提供具有彩色滤光片元件阵列的成像器的设备及方法,每一彩色滤光片元件通过间隔物而彼此分离。所述间隔物可在光学上将滤光片元件彼此隔离。 | ||
搜索关键词: | 用于 制造 分离 彩色 滤光 侧壁 间隔 对应 图像传感器 方法 | ||
【主权项】:
1. 一种形成彩色滤光片阵列的方法,所述方法包含以下步骤:在像素阵列上形成钝化层;在所述钝化层上形成多个间隔物,以界定彩色滤光片元件的区域;以及在所述间隔物所界定的所述区域内形成多个所述彩色滤光片元件的图案。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
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H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的