[发明专利]表面检查装置无效
| 申请号： | 200780016832.0 | 申请日： | 2007-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN101443649A | 公开（公告）日： | 2009-05-27 |
| 发明（设计）人： | 藤森义彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/956;G06T1/00 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 | 代理人： | 徐申民 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的表面检查装置包括下列构成：对晶片W表面照射检查用照明光Li的照明光源(1)；对晶片W受到检查用照明光Li照射而发出的漫射光进行感光对其表面摄像的相机(5)；显示相机(5)的摄像单元(6)摄像得到的晶片表面的图像的显示装置(15)；以及使得摄像单元(6)摄像得到的晶片W表面中亮度高的部分膨胀在显示装置(15)上显示的图像膨胀处理装置(11)。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 检查 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种表面检查装置，其特征在于，包括：对检查对象部件表面照射检查光的照明部；摄像部，其对受到所述照明部发出的检查光照射的检查对象部件表面进行摄像；显示部，其显示由所述摄像部摄像得到的所述检查对象部件表面的图像；以及图像膨胀部，其使得由所述摄像部摄像得到的所述检查对象部件表面的图像中亮度或颜色与背景部分有差异的部分膨胀并显示在所述显示部上。
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