[发明专利]表面检查装置和表面检查头装置

摘要

表面检查装置设有检测部，其中从激光二极管经由光投射光纤向被检查物的内周面照射检查光，并且其反射光强度由设置在光投射光纤组周围的第一受光光纤组、设置在第一受光光纤组外侧的第二受光光纤组以及分别与第一受光光纤组和第二受光光纤组相连的光电探测器来检测。此外，表面检查装置从光电探测器的输出信号中提取与因轴线与圆筒部件的中心线之间的偏差而导致的受光强度的波动对应的频率分量，并且控制激光二极管根据该频率分量与预定基准值之差来改变检查光的强度。另外，表面检查装置的头装置中的保护窗部件的前表面或后表面的至少一个法线方向相对于朝向保护窗部件的检查光的入射光方向而倾斜。

主权项

1、一种表面检查装置，该表面检查装置具有利用来自光源的检查光经由光投射光纤照射被检查物的表面并检测该检查光的反射光的强度的检测装置，并基于所述检测装置的检测结果来检查所述被检查物的表面，其中，所述检测装置包括：第一受光光纤组，其包括多条受光光纤，该第一受光光纤组设置在所述光投射光纤的周围并且能够引导所述反射光；第二受光光纤组，其包括多条受光光纤，从所述光投射光纤的角度观察，所述第二受光光纤组设置在所述第一受光光纤组的外侧，并且能够引导所述反射光；第一光电转换装置，其根据所述第一受光光纤组引导的反射光的强度输出信号；以及第二光电转换装置，其根据所述第二受光光纤组引导的反射光的强度输出信号。