[发明专利]VPE反应器的源容器有效
| 申请号： | 200780017540.9 | 申请日： | 2007-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN101443487A | 公开（公告）日： | 2009-05-27 |
| 发明（设计）人： | 沃尔特·弗兰肯;约翰尼斯·卡普勒 | 申请（专利权）人： | 艾克斯特朗股份公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋 莉 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及VPE沉积设备的源装置，包括：含有液态或固态起始材料(1)并具有顶部开口的容器(2)；用于反应气体(4)的供应管线(3)，所述反应气体(4)与起始材料(1)反应以产生含有该起始材料的工艺气体(5)。本发明的目的是暂时稳定源反应。为此，盖子(6)直接放置在起始材料(1)上并且限定盖子和起始材料(1)的表面(7)之间的体积(8)，反应气体(4)流过所述体积并且供应管线(3)通向该体积。 | ||
| 搜索关键词： | vpe 反应器 容器 | ||
【主权项】：
1、VPE沉积装置的源装置，包括：含有液态或固态起始材料(1)并具有顶部开口的容器(2)；用于反应气体(4)的供应管线(3)，所述反应气体(4)与起始材料(1)反应以产生含有该起始材料的工艺气体(5)；以及直接置于该起始材料(1)上的盖子(6)，其特征在于，所述盖子(6)在其本身和所述起始材料(1)的表面(7)之间限定了体积(8)，所述反应气体(4)可以平行于所述表面(7)流过该体积(8)，并且供应管线(3)通向该体积(8)。
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