[发明专利]多柱结构有效
| 申请号： | 200780017945.2 | 申请日： | 2007-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN101449383A | 公开（公告）日： | 2009-06-03 |
| 发明（设计）人： | 杰弗里·伯克迈耶 | 申请（专利权）人： | 富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 美国新罕*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 描述了具有复杂多层结构的微机械器件以及用于形成该器件的技术。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 | ||
【主权项】：
1. 一种形成柱结构组件的方法，包括：将第一衬底结合至第二衬底，其中实现所述结合而不使用结合层；图案化所述第二衬底，其中所述图案化留下所述第二衬底的材料的第一部分以及所述第二衬底的材料的第二部分并除去所述第二衬底的所述第一与第二部分之间的材料，所述第一部分形成多个结构，所述第二部分形成一组件，所述组件为其中具有多个孔的整体结构；以及使所述第二衬底的所述第二部分与所述第一衬底分离，其中所述第二部分不包括所述结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司，未经富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200780017945.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：简易悬臂吊
- 下一篇：卷布机悬臂支肘改进结构
- 同类专利
- 专利分类
